我國化學氣相沉積(CVD)金剛石研究和產業化的過去、現在和未來

發布時間：2023-1-11

金剛石作為一種多功能超極限材料，具有優異的電學、光學、熱學、力學、聲學、電化學性能，在眾多高新技術領域具有極佳的應用前景。尤其是化學氣相沉積(CVD)金剛石膜的出現，為金剛石在諸多高新技術領域的應用創造了可能性，因此在20世紀80年代早期引發了席卷全球的“金剛石熱”。

北京科技大學的呂反修教授在本綜述中介紹了我國CVD金剛石研究的歷史、現狀和發展趨勢，尤其是產業化進程。1987年初我國“863計劃”正式啟動，CVD金剛石膜研究從一開始就得到“863計劃”和國家自然科學基金的持續資助，在“八五”和“九五”期間曾設立重大關鍵技術項目。盡管“十五”期間，CVD金剛石膜研究經歷了“最寒冷的冬天”，“863計劃”不再單列金剛石膜專題，國內CVD金剛石膜研究也并未停止，金剛石膜產業化的勢頭同樣繼續加強。終于在“十一五”期間，CVD金剛石膜產業在國內出現并初步站穩了腳跟。“十二五”期間，航空航天、電子等部門都相繼提出對金剛石膜的應用需求，CVD金剛石膜研究和應用繼續回暖，并逐步發展壯大。

本文對我國CVD金剛石膜研究進行了全面深入的回顧，還詳細介紹了金剛石膜的機械（摩擦）、熱學、光學、電子和聲學應用現狀和發展前景。實驗室培育金剛石的成功是中國CVD金剛石薄膜研發和產業化中最重要的成就。

相關的成果以“Past, present, and the future of the research and commercialization of CVD diamond in China”為題，發表在Functional Diamond 雜志上。

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